Bilinen en eski buhar makinası, aynı zamanda ilk reaktördür. Bu cihaz M.S. I. yüzyılda, İskenderiyeli Heron tarafından yapılan «eolipil»dir.
1000 yılına doğru keşiş Gerbert, katedralin org takımını buharla çalıştırdı. Ama, buhar gücüyle işleyen makinaların tanımını Fransız mühendisi Salomon de Caus’nun eserinde okumak için, 1615 yılını beklemek gerekti.
Ne var ki, buharın olağanüstü serüvenine çıkış noktası olarak, bütün dünya, Deniş Papin’in buharlı tenceresini kabul eder. Korserveleri pişirmeye mahsus kap, bu mucit mühendisi bir emniyet supapı tasarlamak zorunda bıraktı. Zira buhar basıncı o kadar kuvvetliydi ki ilk düdüklü tencere olan bu kabı patlatabillrdi. Papin, 1663 yılında Worcester markisinin «buharlı çeşme »siyle yaptığı gibi, bir motoru ya da bir su tulumbasını çalıştırmak için buhardan yararlanmayı düşündü. 1705 yılında İngiliz Thomas Savery ile ortağı Newcomen, makinanın silindiri içindeki pistonun hareketini geliştirdiler. 1786 yılına doğru İngiliz James Watt, buharın sırayla pistonun her iki yüzüne etki yapmasını sağlayarak, gücünü iki katına çıkarmayı başardı. Böylece, adına yaraşır ilk buhar makinası doğdu.
Bundan sonra, buluşun uygulamaları ortaya çıktı. Bu uygulamaların başında, ilk otomobil olan Cugnot’nun yük arabası (1771), Jouffroy d’Abbans’ın bir pistonla çalışan mekanik küreklerle donatılmış gemisi (1776) ve özellikle Stephenson’ın buharlı lokomotifi (1829) gelir. Stephenson’ın lokomotifi, bugün dünyada hizmet gören lokomotiflerin atasıdır.